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特殊ガス供給設備

半導体製造ガス供給設備

先端技術を駆使した、安全性・信頼性に優れた半導体製造用ガス供給設備
半導体製造で代表されるような先端産業分野では、自然発火性、分解爆発性、着火爆発性といった燃焼危険性の著しく高いガスや毒性の極めて高いガスが使用されています。当社は、これらのガスをより安全に収納するシリンダーキャビネットを主に製作しています。
また、保安、防災組織体制等を支援しています。
●除害装置
●保安電源装置
●排気ダクト
●緊急遮断装置
シリンダーキャビネット
▲シリンダーキャビネット
シリンダーキャビネット
▲シリンダーキャビネット
シリンダーキャビネット気密検査
▲シリンダーキャビネット気密検査